第七百六十八章 腰杆子直起来（1/ 2）

“老胡，来。咱们一起合影留念！”这时，董教授朝正在观看工作站显示屏的胡明镇，使劲的招手。

“对！这么重要的时刻，咱们一定要记录下来。”

“小梁、老郝，你们都一起来合影留念。”

董教授、单教授等一干院士级专家教授们都非常兴奋，抑制不住内心的激动。他们都在手舞足蹈的说着话。

光刻硅晶圆片的速度非常快，两分钟不到就可以给一片8英寸的硅晶圆片完成曝光流程工艺。因为这次给朱雀·酷睿I芯片做流片工程，其实就是一次测试。胡明镇没安排批量生产，只让手下的团队准备了10片硅晶圆片。

在董教授等人邀请他合影留念的时候，正在工作的KrF光刻机已经完成了给第一片硅晶圆片曝光照相的流程，用时在95秒左右。这个速度在目前来说应该是全球第一，要远远超过那三台从米国运来的KrF光刻机。

不但如此，胡明镇设计的这台第三代光刻机，一直秉承了鸣芯制造公司的传统，采用双工制程工艺，拥有两个工作台。

在刘教授这帮人激动不已手舞足蹈的时候，这台光刻机的激光头已经挪动位置，转到另外一个工作台上开始扫描掩膜片，给硅晶圆片曝光。

于此同时，另外一只检验激光头开始工作，给已经曝光好的硅晶圆片做检验，执行硅晶圆片蚀刻工艺前的验片制程工艺。

这一套制程工艺都是一鸣集团公司的Foundry制程专利技术，一般情况下是不对外开发的。

刘教授、董教授和单教授等一般院士专家，也是沾了光，要向总部首长汇报全国首台第三代光刻机科研成果，才得以在这么机密的环境里近距离观看芯片光刻制程工艺流程。所以这帮人非常激动，有点把持不住自己。

看了看这些个鬓发花白的专家教授，胡明镇含着笑微微一摇头，“老刘，合影留念的事情咱们不着急，等验片结果出来再说吧。”

芯片光刻、验片都是微观的精密工艺，用肉眼是不能检验出结果。只能通过电脑模拟显示光刻流程和验片流程是情况。

梁宋松此时的工作就是在观察芯片扫描光刻的验片数据结果，两只眼睛一眨不眨的盯着工作站的显示屏。突然，他大笑一声，“成了，老师。第一片硅晶片光刻成品率达到百分之一百！”

说完这些，他一跃而起，从电脑转椅上跳了起来。

虽然说光刻流程工艺仅仅是芯片流片制程工艺的第一步，后续的工序仍然会降低芯片成品率，但百之一百的成功率还是值得庆贺的。

“百分一百的成品率？这么厉害？”刘教授听到这个数据，顿时有点瞠目结舌了。

其他的专家教授们也是如此，顿时都跑到那台工作站的显示屏旁边，想要一睹为快。

此时此刻，电脑屏幕上显示的一组组图形比对数据，并没有什么芯片物理图形，不是很直观。但那些一组组的比对数据却可以明确的指出，第一片硅晶圆片的曝光光刻成功率。

“各位专家，我们这台光刻机采用扫描式曝光制程工艺，其原理和复印机的扫描流程很像。当激光头从掩膜片的上方扫过，激光就把掩膜片上的物理电路图曝光到硅晶圆片的光刻胶涂层，留下电路图的影像……”

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